В настоящем учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники — вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l — координатных исполнительных устройств и узлов фения для работы в условиях вакуума, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств для захватов манипуляторов, вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений и газовыделение, а также вопросы расчета вероятности безотказной работы элементов механических систем, функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнения и газовыделения и др.
ЭЛЕМЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ ОБОРУДОВАНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ ТЕХНОЛОГИИ.
На современном этапе развития вакуумного оборудования тонкопленочной технологии важными факторами является: - автоматизация процесса напыления тонкопленочных покрытий; - совместимость различных технологических операций в одном рабочем вакуумном объеме (камере) либо в объемах, соединенных между собой шлюзами и транспортирующими устройствами; - изолирование подложки с пленочным покрытием на всех стадиях ее обработки от воздействия окружающей среды. Однако независимо от выбранного способа испарения (распыления) исходного материала и конкретного назначения изделия вакуумное оборудование для изготовления тонкопленочных структур имеет много общих систем.
Купить .
По кнопкам выше и ниже «Купить бумажную книгу» и по ссылке «Купить» можно купить эту книгу с доставкой по всей России и похожие книги по самой лучшей цене в бумажном виде на сайтах официальных интернет магазинов Лабиринт, Озон, Буквоед, Читай-город, Литрес, My-shop, Book24, Books.ru.
По кнопке «Купить и скачать электронную книгу» можно купить эту книгу в электронном виде в официальном интернет магазине «ЛитРес», и потом ее скачать на сайте Литреса.
По кнопке «Найти похожие материалы на других сайтах» можно найти похожие материалы на других сайтах.
On the buttons above and below you can buy the book in official online stores Labirint, Ozon and others. Also you can search related and similar materials on other sites.
Дата публикации:
Хештеги: #Ивашов :: #книги по электронике :: #электроника :: #проектирование :: #механизмы :: #машиностроение
Смотрите также учебники, книги и учебные материалы:
Следующие учебники и книги:
- Новые источники энергии, Фролов А.В., 2017
- Устройства сопряжения с объектом, Жмудь В.А., 2019
- Технология ремонта и обслуживания электрооборудования, Дайнеко В.А., 2020
- Технология поверхностного монтажа, лабораторный практикум, Богачек Г.Д., Букрин И.В., Иевлев В.И., 2020
Предыдущие статьи:
- Проектирование электрических сетей, учебное пособие, Ананичева С.С., Котова Е.Н., 2017
- Технология и оборудование низкотемпературной пайки, Электронное учебное пособие, Федоров А.Л., 2021
- Приемники электроэнергии, том 11, Анчарова Т.В., Рашевская М.А., 2021
- Устройства сверхвысоких частот и антенны, Саломатов Ю.П., Панько В.С., Лемберг К.В., 2020