ПРЕДИСЛОВИЕ.
В настоящем учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники — вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l — координатных исполнительных устройств и узлов фения для работы в условиях вакуума, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств для захватов манипуляторов, вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений и газовыделение, а также вопросы расчета вероятности безотказной работы элементов механических систем, функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнения и газовыделения и др.
Глава 1. ЭЛЕМЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ ОБОРУДОВАНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ ТЕХНОЛОГИИ.
На современном этапе развития вакуумного оборудования тонкопленочной технологии важными факторами является:
- автоматизация процесса напыления тонкопленочных покрытий;
- совместимость различных технологических операций в одном рабочем вакуумном объеме (камере) либо в объемах, соединенных между собой шлюзами и транспортирующими устройствами;
- изолирование подложки с пленочным покрытием на всех стадиях ее обработки от воздействия окружающей среды.
Однако независимо от выбранного способа испарения (распыления) исходного материала и конкретного назначения изделия вакуумное оборудование для изготовления тонкопленочных структур имеет много общих систем.
Купить .
По кнопкам выше и ниже «Купить бумажную книгу» и по ссылке «Купить» можно купить эту книгу с доставкой по всей России и похожие книги по самой лучшей цене в бумажном виде на сайтах официальных интернет магазинов Лабиринт, Озон, Буквоед, Читай-город, Литрес, My-shop, Book24, Books.ru.
По кнопке «Купить и скачать электронную книгу» можно купить эту книгу в электронном виде в официальном интернет магазине «ЛитРес», и потом ее скачать на сайте Литреса.
По кнопке «Найти похожие материалы на других сайтах» можно найти похожие материалы на других сайтах.
On the buttons above and below you can buy the book in official online stores Labirint, Ozon and others. Also you can search related and similar materials on other sites.
Дата публикации:
Хештеги: #Ивашов :: #Сигов :: #2019 :: #теория :: #электричество :: #техника :: #машина :: #механизм
Смотрите также учебники, книги и учебные материалы:
Следующие учебники и книги:
- Расчёт надёжности электронных модулей, Научное издание, Жаднов В.В., 2018
- Радиосигналы и радиоустройства в информационных системах, часть 2, Куприянов А.И., 2018
- Радиосигналы и радиоустройства в информационных системах, часть 1, Куприянов А.И., 2018
- Мир электроники, нанотехнологии в электронике, Чаплыгина Ю.А., 2015
Предыдущие статьи:
- Занимательная электротехника на дому, Рюмин В.В.
- Электронные свойства и применение нанотрубок, Дьячков П.Н., 2020
- Электронные свойства и применение нанотрубок, Дьячков П.Н., 2012
- Материаловедение и технологии электроники, Капустин В.И., Сигов А.С., 2014