Микросистемные сенсоры температуры, Милюков С.П., Механцев Е.Б., 2009

Микросистемные сенсоры температуры, Милюков С.П., Механцев Е.Б., 2009.

  В учебном пособии рассматриваются физические возможности измерения температуры, используемые в микросистемной технике (МСТ), и возможности их интегральной реализации. В частности, подробно описываются активные сенсоры температуры на основе термоэлектричества (эффект Зеебека), пассивные способы, основанные на измерении термозависимости различных типов резисторов и параметров транзисторов. Рассматривается также использование фиксации изменения температуры как промежуточный этап преобразований в сенсорах других типов: расходомерах, акселерометрах, химических анализаторах.




РЕЗИСТИВНЫЕ СЕНСОРЫ ТЕМПЕРАТУРЫ.
Физические свойства материалов и параметры выполненных их них деталей в той или иной степени -зависят от температуры и несут, таким образом, информацию о её величине. Для извлечения этой
информации необходимы дополнительные устройства, в связи с чем такие сенсоры и датчики на их основе относятся к числу пассивных.

Зависимость сопротивления металлов от температуры R(T) впервые заметил X. Дэви в 1821 г., а в 1871 г. В. Сименс сделал первый резистивный термометр из платиновой проволоки. Сейчас существует большое разнообразие резистивных датчиков температуры. В микросистемной технике используют тот же принцип, т.е. измеряют зависимость сопротивления от температуры, только резисторы берут обычно пленочные или полупроводниковые. Их достоинствами являются высокая чувствительность. простой интерфейс, долговременная стабильность.

Рассмотрим сначала датчики на основе металлических пленок. Зависимость R(T) наблюдается у всех металлов, но не все используют в качестве основы для сенсоров. Известно, что электрические свойства материалов в тонких слоях сильно отличаются от объемных и зависят также от способа изготовления пленки. Поэтому круг материалов, используемых для изготовления сенсоров, ограничен наиболее изученными и стабильными. Среди металлов это платина (при измерениях температуры до 600 °С) и молибден - при измерениях более высоких температур.

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1. ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ ТЕМПЕРАТУРЫ
2. РЕЗИСТИВНЫЕ СЕНСОРЫ ТЕМПЕРАТУРЫ
3. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СЕНСОРЫ ТЕМПЕРАТУРЫ
4. ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ ТЕМПЕРАТУРЫ
5. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СЕНСОРОВ ТЕМПЕРАТУРЫ В КОМБИНАЦИИ С ДРУГИМИ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯМИ
5.1. Каталические сенсоры концентрации газов
5.2. Тепловые расходомеры
5.3. Акселерометры с нагревом газа
6. БЕСКОНТАКТНОЕ ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ
6.1. Тепловое излучение
6.2. Принцип действия приемников теплового излучения
6.3. Сенсоры излучения на основе термоэлектрического и терморезистивного эффектов
6.4. Пироэлектрические датчики ИК-излучения
6.5. Термопневматические детекторы
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК.



Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате, смотреть и читать:
Скачать книгу Микросистемные сенсоры температуры, Милюков С.П., Механцев Е.Б., 2009 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.

Скачать pdf
Ниже можно купить эту книгу по лучшей цене со скидкой с доставкой по всей России.Купить эту книгу


Скачать - pdf - Яндекс.Диск.




Хештеги: #книги для студентов и школьников :: #Милюков :: #Механцев