Рассмотрены основные направления развития наноэлектроники. Проведен анализ использования в приборах наноэлектроники наряду с электроном и других носителей информационного сигнала. Приведены краткие характеристики используемых наноматериалов, физико-химических процессов на их поверхности» традиционных и новых технологических процессов. Рассмотрены перспективные направления развития наноэлектроники.
Содержание учебника соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования.
Для студентов, обучающихся по направлениям, связанным с развитием наноэлектроники и нанотехнологий, а также для аспирантов и научных работников.








