В книге рассмотрены методы получения планарных и объемных микроструктур, выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах. Подойдет для инженерно-технических и научных работников, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей.
