Изучив эту книгу, вы узнали, каково назначение тонких пленок при изготовлении полупроводниковых приборов и ИМС, какими методами их наносят, используя различное вакуумное технологическое оборудование, и как контролируют параметры технологических процессов и осажденных слоев.
В данном учебном пособии описаны только основные методы и вакуумное оборудование. Освоив этот учебный материал, вы в дальнейшей работе по выбранной специальности сможете, знакомясь с технической литературой и новейшей технологией, легко овладеть другими методами нанесения тонких пленок. Все это будет способствовать повышению вашей квалификации, позволит сознательно выполнять порученную работу и вносить свой вклад в развитие микроэлектроники.
