В пособии рассматриваются вопросы применения программных средств, используемых при проектировании устройств микросистемой техники. Приводятся сведения о специализированных системах проектирования, об универсальных САЕ- и других пакетах программ, обеспечивающих решение задач моделирования и разработки элементов микросистемой техники. Рекомендовано студентам направлений подготовки бакалавров и магистров 210100 «Электроника и микроэлектроника» и 210200 «Проектирование и технология электронных средств» (ГОС ВПО 2); 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств» (ФГОС ВПО).
