Нанотехнология, Физика, Процессы, Диагностика, Приборы, Лучинин В.В., Таиров Ю.М., 2006.
Монография «Нанотехнология» подготовлена коллективом авторов на основе исследований и разработок, выполненных на кафедре микроэлектроники и в Центре микротехнологии и диагностики Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета.
Систематически излагается материал, охватывающий проблемы физики квантоворазмерных неорганических и биоорганических наноструктур; процессы нанотехнологии, ориентированные на формирование нанослойных систем и нанокомпозиций неорганической и органической природы, а также 3D-обработку с использованием наноразмерных пучков.
Для научных работников и инженеров, занимающихся нанотехнологиями. Может быть полезна для подготовки специалистов, магистров и аспирантов по направлениям: «Нанотехнология» и «Электроника и микроэлектроника».
