Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем, Конспект лекций, Гаврилов С.А., Белов А.Н., Железнякова А.В., 2011.
Рассмотрены электрохимические и химические процессы модифицирования поверхности и нанесения покрытий в технологии создания наноструктур. Особое внимание уделено процессам анодного окисления и растворения и катодного осаждения материалов, формирования пористых наноструктур. Отдельная лекция посвящена химическому методу формирования полупроводниковых соединений из водных растворов. Представлены различные способы применения низкотемпературных процессов в технологии формирования полупроводниковых структур.
Разработан для основной образовательной программы подготовки магистров по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», соответствующей тематическому направлению
деятельности ННС «Наноэлектроника».
Предназначен для студентов, обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 150100 «Материаловедение и технология материалов».
